GB/T 15909-1995 電子工業用氣體 硅烷
本標準規定了電子工業用硅烷氣體的技術要求、檢驗方法、檢驗規則、包裝、標志、運輸、貯存和安全要求等。
本標準被 GB/T 15909-2009電子工業用氣體 硅烷(SiH) 代替
| GB/T 15909-2009 | 電子工業用氣體 硅烷(SiH4) |
GB/T 15909-1995 電子工業用氣體 硅烷
本標準規定了電子工業用硅烷氣體的技術要求、檢驗方法、檢驗規則、包裝、標志、運輸、貯存和安全要求等。
本標準被 GB/T 15909-2009電子工業用氣體 硅烷(SiH) 代替
| GB/T 15909-2009 | 電子工業用氣體 硅烷(SiH4) |
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