| 特點： | | ●工業半導體凈化室的理想檢測儀器 | | ●更適于低濃度氣體檢測（PPM級） | | ●抗干擾性強 | | ●盒式帶取放簡便 | | ●盒帶剩余量顯示 | | | | | 規格： | | 類 型 | 臺式，可搬運型 | | 檢測原理 | 光電光度學原理用于盒式紙帶 | | 檢測盒帶 | VHS型可更換盒式帶電 | | 電源和耗電量 | AC220V 50/60Hz
檢測時：35VA 供帶時：60VA | | 尺寸.重量 | 275(W)×220(H)×370(D)mm 約12Kg | | | | |
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| 檢測氣體名稱 |
| 檢測氣體 | TLV值 | 檢測范圍 | 解析值 | | 磷 PH4 | 300ppb | 0--900ppb | 5 | | 四氫化硅 SiH4 | 5ppm | 0--15ppm | 0.25 | | 乙硼烷 B2H6 | 100ppb | 0--300ppb | 5 | | 胂 AsH3 | 50ppb | 0--150ppb | 1 | | 乙硅烷 SiH6 | 5ppm | 0--10ppm | 0.1 | | 硫化氫 HS2 | 10ppm | 0--100ppm | 1 | | 光氣 COCl2 | 100ppb | 0--300ppb | 2 | | 氯氣 Cl2 | 0.5ppm | 0--100ppb | 1 | | 硒化氫 H2Se | 50ppb | 0--300ppb | 2 | |
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