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公司基本資料信息
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先進，實用的單層和多層鍍膜速率控制用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1技術，提供可靠的模式跳躍防止功能，可達到始終如一的鍍膜質量。使用XTC/3 薄膜鍍層控制儀，可高度精確地控制鍍膜速率與膜層厚度，具有能控制幾乎任何膜層數量的能力。容易安裝和極高的可靠性，可確保高的生產率。特 點■有單膜層和多膜層型號■ModelLock技術防止由于模式跳躍導致的膜厚誤差■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和雙探頭自動晶體切換，用于生產率■XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程，999個膜層，32個鍍層，2個傳感器和兩個源■XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層，2個傳感器和兩個源■易閱讀的TFT LCD圖形顯示器■為便于檢索，可指定的和描述性的薄膜與過程名稱■有以太網連接軟件■單獨運行（無需計算機）或用PC運行的Windows®軟件選件■INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換見（限于XTC/2功能和指令組）技術規范
| 功能，參數，或技術規范 | XTC/3S單層膜 | XTC/3M多層膜 |
| 測量分辨的頻率變化 | ＋0.05Hz | ＋0.05Hz |
| 測量區間 | 0.25秒 | 0.25秒 |
| 厚度和速率分辨/測量 | 0.06A,在工具/密度＝100 | 0.06A,在工具/密度＝100 |
| 基頻＝6M Hz | 基頻＝6M Hz | |
| 支持XTAL2轉換 | 是 | 是 |
| 計算機通訊 | RS232標準,以太網TCP/IP選件 | RS232標準,以太網TCP/IP選件 |
| RS232波特率 | 115.2千波特 | 115.2千波特 |
| 繼電器數 | 12標準, 無事例可指定 | 12標準, 事例可指定 |
| 可編程繼電器功能數 | 1 | 1 |
| 每個繼電器功能 | 1 | 1 |
| 繼電器電壓額定值 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 |
| 42V峰,在2.5安 | 42V峰,在2.5安 | |
| 輸入數 | 8TTL, 24伏直流 | 8TTL, 24伏直流 |
| 可編程輸入功能數 | 1, 無事例可指定 | 1, 事例指定 |
| 記入儀輸入數 | 1 | 1 |
| 手動電源/手持控制器 | 是 | 是 |
| 排風扇 | 無 | 無 |
| 測試模式 | 是 | 是 |
| 擋光器延遲 | 是 | 是 |
| 次級工具 | 是 | 是 |
| 允許相移頻率 | 1.0 M Hz | 1.0 M Hz |
| 機箱尺寸 | 1/2機架,2U高度 | 1/2機架,2U高度 |
| 速率和膜厚顯示分辨 | 0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從 100至999A/秒 | 0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從 100至999A/秒 |
| 顯示膜厚分辨=1A | 顯示膜厚分辨=1A | |
| 通過輸入選擇鍍層 | 是 | 否 |
| 用戶指導語言 | 英文，中文 | 英文，中文 |
| 控制環 | PID | PID |
| 數據登錄 | 是 | 是 |
| 質量和穩定性功能 | 是 | 是 |
| 樣品和保持 | 是 | 是 |
| 坩堝選擇 | 是 | 是 |
| 坩堝反饋輸入 | 是 | 是 |
| 選擇控制電壓極性 | 是，+/-2.5，5，10伏 | 是，+/-2.5，5，10伏 |
| 15-位分辨率 | 15-位分辨率 | |
| 程序鎖定碼 | 是 | 是 |
| 用戶標簽過程/鍍層 | 否 | 是 |
| XTC/2 RS232通訊兼容性 | 是（有限的） | 是（有限的） |
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