多晶硅無塵車間設(shè)計施工

多晶硅無塵車間環(huán)境設(shè)施要求：

1 半導(dǎo)體級多晶硅還原廠房的還原爐室應(yīng)按潔凈廠房進行設(shè)計，空氣潔凈度等級不應(yīng)低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)設(shè)有通往整理廠房的連廊時，連廊的空氣潔凈度等級和處理方法應(yīng)與還原爐室的要求一致，宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

    2 還原爐室地面宜采用耐磨的潔凈地面，當(dāng)采用水磨石地面時，應(yīng)采取防靜電措施。墻面宜采用外貼潔凈板或防靜電樹脂涂料。

    3 整理廠房空氣潔凈度等級及潔凈區(qū)劃分應(yīng)按工藝要求設(shè)置，空氣潔凈度不應(yīng)低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內(nèi)裝修，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

    4 整理廠房的潔凈房間地面宜采用環(huán)氧自流平地面、聚氯乙烯(PVC)膜材料或水磨石地面，地面應(yīng)采取防靜電措施。

廠房空氣潔凈度等級、溫度、濕度的設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。

存在下列情況之一時，空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)分開設(shè)置：

    1 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；

    2 空氣中含有易燃、易爆物質(zhì)；

    3 容易產(chǎn)生交叉污染，對其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量造成影響；

    4 對溫、濕度控制要求差別大；

    5 工藝設(shè)備散熱量相差懸殊。

保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量應(yīng)符合下列規(guī)定：

    1 5級～8級潔凈室送風(fēng)量應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；

    2 生產(chǎn)太陽能級多晶硅的還原爐室，當(dāng)空調(diào)系統(tǒng)為三級過濾時，其送風(fēng)量應(yīng)按換氣次數(shù)大于或等于6次／h計算。

潔凈室送風(fēng)可采用集中送風(fēng)或風(fēng)機過濾機組送風(fēng)的方式。

潔凈空調(diào)送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)連鎖，正壓潔凈室連鎖程序應(yīng)為先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機；關(guān)閉時連鎖程序應(yīng)相反。

還原車間應(yīng)獨立設(shè)置直流空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)，不應(yīng)回風(fēng)。

腐蝕清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)不宜回風(fēng)。

潔凈空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)集中處理時，新風(fēng)處理機組應(yīng)符合下列規(guī)定：

    1 新風(fēng)應(yīng)經(jīng)過粗效過濾器處理；

    2 嚴寒地區(qū)新風(fēng)應(yīng)先預(yù)熱；

    3 送風(fēng)機宜采取變頻措施。

空氣過濾器選用、布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

    1 空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級選用過濾器；

    2 空氣過濾器處理風(fēng)量不應(yīng)大于額定風(fēng)量；

    3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)系統(tǒng)的正壓段；

    4 亞高效和高效過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端。

風(fēng)機過濾機組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

    1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用；

    2 送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)；

    3 應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。

凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機宜采用變頻裝置。

附錄C 主要房間空氣潔凈度、溫度、濕度 

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