| INFICON（瑞士英福康） UL1000移動式氦檢漏儀專門設計用于滿足苛刻的工業檢漏要求：具有耐用性強、測試靈活性好、靈敏度高、啟動快，響應精確迅速，系統安可靠等特點。 |
| UL1000符合微電子工業生產的要求。從堅固的金屬外殼到方便移動的滾輪，至I·CAL, 用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長平衡時間的運算法則，都無不顯示了其的優越性。 |
| 系統軟件包含帶有故障查找指令的先進自診斷程序。并可調用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風系統不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。 |
| UL1000具有可轉動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結果于狀態信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。通過E-MAIL更新軟件，新的固件可通過標準接口在數分鐘內完成安裝。 |
| 應用： |
| 半導體工藝設備的維護，該設備本身帶或未帶有渦輪分子泵 |
| 工藝氣體系統的檢測與安裝 |
| 元器件在組裝前的漏率測試 |
| 要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合 |
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| 技術參數 |
| 小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標準） | ＜5×10-12mbar.l/s | | 小可檢漏率（吸槍模式） | ＜3×10-8mbar.l/s | | 入口壓強 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 | 15 mbar 2 mbar 0.4 mbar | | 抽泵抽速 | 16-25立方米/小時 | | 氦氣抽速（進氣口處） 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 | 8 升/秒 7升/秒 2.5升/秒 | | 可檢質量數 | 2、3、4amu, 氫，3氦，氦 | | 電源電壓 | 110－120V；220－240V | | 重量 | 110公斤；242磅 | | 尺寸，包括手把（長×寬×高） | 1068×525×850毫米 | |
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