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公司基本資料信息
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![]() | ★間歇加工減輕了樣品的損傷。 標配的間歇加工模式,可以減輕對樣品的熱損傷。 |
★采用新開發的快速離子源 可提供500μm/h(8KV/2小時的平均值)的研磨速率 ★加工監控功能可通過CCD相機實時查看截面加工狀態。 | ![]() |
![]() | ★可以選擇精細拋光。 快速加工之后,通過設定精細拋光參數可以減輕離子束對加工截面表層的損傷。 |
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一般加工模式 | 間歇加工模式 |
離子加速電壓 | 2 ~ 8 kV |
離子束直徑 | 500μm以上(半高寬) |
研磨速率 | 500 μm/h( 2小時的平均値、加速電壓8 kV、硅換算、邊緣距離100 μm ) |
樣品尺寸 | 11 mm(寬) × 10 mm(長) × 2 mm(高) |
樣品移動范圍 | X軸: ±10mm、Y軸: ±3mm |
樣品旋轉角度調節范圍 | ±5° |
操作方法 | 觸控屏、165mm顯示器 |
離子束氣源 | 氬氣 |
壓力測試 | 潘寧規 |
排氣系統 | 渦輪分子泵、機械泵 |
尺寸重量 | 主機: 545 mm(寬) × 550 mm(長) × 420 mm(高)、66kg 機械泵: 150 mm(寬) × 427 mm(長) × 230 mm(高)、約16 kg |
離子研磨儀IB-19510CP
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