凈化工程是指在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。凈化工程主要分為兩類亂流式 (Turbulent Flow) 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板亂流式回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。 缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。層流式(Laminar) 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種： (1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。 優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。 缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。 (2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。 優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。
| 潔凈度等級參照表 |
| 空氣潔凈度等級 | 大于或等于表中粒徑的濃度限值（pc/m3） |
| ISO標(biāo)準(zhǔn) | 中國標(biāo)準(zhǔn) | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um |
| 1級 | | 10 | 2 | | | | |
| 2級 | （一級） | 10 | 24 | 10 | 4 | | |
| 3級 | （五級） | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| 4級 | （十級） | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| 5級 | （百級） | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| 6級 | （千級） | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| 7級 | （萬級） | | | | 352000 | 83200 | 2930 |
| 8級 | （十萬級） | | | | 3520000 | 832000 | 29300 |
| 9級 | （三十萬級） | | | | 35200000 | 8320000 | 293000 |
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